測量精度: 0.9um起



特性：

工作臺與導軌的一體化設計，增加了設備的可靠性。

精密矩形橫梁和四面環抱式靜壓導軌設計，保證了測量穩定性。

冷壓成型的全硬鋁合金移動框架結構，輕質高效。

雷尼紹插槽式光柵RTLC系列測量位置反饋系統。

配置先進的實時溫度補償系統，提高了產品溫度適用范圍。

多種豐富的測量配置可完成復雜的測量需求。

可提供多種測量應用配置方案。

標準規格: 575、 7107、9128、 9158、9208


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